我国超高纯化学品攻关再获突破,电子级硫酸实现工业化量产
发布时间:2026-09-09据中国石化集团南京化学工业有限公司消息,近日该公司超高纯化学品攻关取得里程碑式突破——G4级电子级硫酸装置连续稳定运行满15天,标志着该产品实现工业化稳定量产。
作为半导体制造中用量最大的湿电子化学品之一,电子级硫酸被誉为芯片的"清洁剂",主要用于去除晶圆表面的金属杂质、有机残留和颗粒污染物。
按照SEMI国际标准,G4级产品要求金属离子杂质含量低于百亿分之一(10ppt),相当于在1000个标准泳池的水中仅允许存在1克杂质。
当前,国内半导体用G4/G5级电子级硫酸长期依赖进口。随着国内晶圆产能扩张,预计2026年我国半导体用G4/G5级电子级硫酸需求量将突破25万吨,自主保供迫在眉睫。
自2023年项目获批以来,南化公司研发团队直面科研成果工程化放大难、原料路线调整复杂、超痕量杂质检测体系空白等挑战,通过持续优化工艺参数与长周期运行试验,成功破解了微量杂质管控、分离稳定性及洁净灌装防污染等行业难题。目前,产品已通过SGS权威检测认证,且具备向G5级迭代的技术潜力。
以此为契机,南化公司已系统提炼形成成套工艺管控方案,并将成熟经验同步应用于电子级硝酸、电子级盐酸的工艺包开发,正加速构建拥有完全自主知识产权的湿电子化学品技术体系,为后续多品类协同产业化奠定坚实基础。(来源:中国化工信息周刊网)
超高纯湿电子化学品的自主化攻关,正在从单一品类走向多品类协同。作为行业最早实现 G5 级产品稳定供应的生产商之一,连芯科技(安徽)有限公司(江苏飞翔集团旗下企业)位于安徽省安庆市,注册资本1.78亿元,是面向半导体与新型显示领域的湿电子化学品专业制造商。
公司引进全球领先的日本专利工艺,配备国际一流检测与研发设备,年产能达3万吨,核心产品电子级异丙醇(IPA)等高纯清洗溶剂达到 G5 级标准,供应和服务于国内外高阶制程的半导体及面板行业客户。
连芯科技愿与产业链伙伴携手,共同推进超高纯湿电子化学品的自主保供。了解更多:www.lansing.com.cn
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